1. 摘要 HI5NWd
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共聚焦掃描顯微技術(shù)在1950年代由ML Minsky發(fā)明并獲得專利，后來以激光作為光源，現(xiàn)已得到了廣泛的應(yīng)用。通過使用空間針孔來阻擋離焦平面散射或反射的光， 促進(jìn)提高縱向分辨率和對(duì)比度。 在此示例中，我們?cè)赩irtualLab Fusion中構(gòu)建了一個(gè)共焦掃描顯微鏡，并使用具有變化的脊和槽的金屬光柵作為測試對(duì)象來演示其工作原理。 +^7cS6"L  
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2. 建模任務(wù) ;@;aeu  
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共聚焦掃描顯微鏡是如何工作的，并且探測功率隨目標(biāo)橫向位移產(chǎn)生的變化？ 2IYzc3Z{9  
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圖片:1-201211102R1447.png

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3. 聚焦區(qū)域的探測場 #Y= A#Yz,{  
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4. 來自測試對(duì)象的直接反射 ykQb;ZP8jh  
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5. 待測目標(biāo)成的像 xOkdu