摘要
E`#/m@:|- ;4<!vVf e 與傳統(tǒng)
光柵相比，尤其是在非傍軸情況下，超光柵具有優(yōu)勢。在此示例中，我們設(shè)計(jì)了一個(gè)將入射
光束分成3x3光束的二維（2D）超光柵。超光柵由圓形
納米柱構(gòu)成，并且在
VirtualLab Fusion中，我們使用FMM / RCWA評估超光柵的
衍射效率。 并且，我們展示了如何使用
參數(shù)優(yōu)化工具來提高衍射效率的均勻性。
l pnPd{kE Z$y~:b z 
qS[KB\RN1 h| N!U/(U 設(shè)計(jì)任務(wù)
$H "(]>~
