摘要
0~<?*{~ Wrbv<8}%c Ju5Dd\ zEjl@Kf 斐索
干涉儀是工業(yè)上常用的一種
光學(xué)測量
儀器,常用于高
精度的光學(xué)表面質(zhì)量檢測。利用
VirtualLab Fusion的非
序列追跡技術(shù),我們建立了斐索
干涉儀,并將其用于測試不同的光學(xué)表面,如柱面和球面,可以發(fā)現(xiàn)由此產(chǎn)生的干涉條紋對表面輪廓很敏感。
;\"5)S foPM5+.G 建模任務(wù)
/@Jg [na =ZSYg K NI/'SMj% (4z_2a(Dl, 觀測傾斜平面
bv41et+Kb A99;bf}" };rEN`L }2Ge??! 觀測柱面
BZOl&G( },<Y
\
V(XU^}b# nYC.zc*o