摘要
/w5~ O: #2dd`F8 可用于嚴(yán)格分析
光柵效率。在
VirtualLab Fusion中，可以設(shè)置光柵
系統(tǒng)、執(zhí)行嚴(yán)格的分析、并以不同的格式分析結(jié)果（例如光柵階次匯集、單值等）。與
參數(shù)運行結(jié)合使用，可以在給定的參數(shù)空間上進行掃描，以研究指定
結(jié)構(gòu)在不同配置下的性能。
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cJIA/HQe <1^ \,cI2 傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）
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