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摘要 I#6'
NZ Xd e=}9  CR<pB )F?a VV}fW"_ND 干涉測量法是一項用于 光學測量的重要技術。它被廣泛應用于表面輪廓、缺陷、 機械和熱變形的高 精度測量。作為一個典型示例，在非 序列場追跡技術的幫助下，于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的馬赫-澤德 干涉儀。該例證明了 光學元件的傾斜和位移對干涉條紋圖的影響。 sxQ
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