Field Inside Component Analyzer: FMM使用戶能夠分析電磁場在微納米結(jié)構(gòu)內(nèi)部的分布。為此，任意周期結(jié)構(gòu)(包括透射和反射、介質(zhì)或金屬光柵)內(nèi)的場通過應用傅里葉模態(tài)方法/嚴格耦合波分析法(FMM/RCWA)來計算。還可以指定場的哪一部分應該可視化:前向傳播的場、后向傳播的場或兩者都要可視化。 =">0\#  

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尋找元件內(nèi)部場分析儀:FMM `bd9N!K  
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圖片:1-2310291HG64L.png

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元件內(nèi)部場分析儀:FMM是光柵光學設(shè)置的專用功能，可提供光柵結(jié)構(gòu)內(nèi)部電磁場的可視化。 v\}{eP'  
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圖片:1-2310291H931305.png

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評估模式 GAh\6ul  
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圖片:1-2310291H959259.png

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為了更容易地區(qū)分入射場、反射場和透射場，可以只計算前向或后向傳播模式，或兩者的結(jié)合。 zzT4+wy`  
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圖片:1-2310291I154257.png

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          前向傳播模式                    后向傳播模式             前向和后向傳播模式 e_1L J  
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評估區(qū)域                                                     _0Y?(}
 
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圖片:1-2310291I3023G.png

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光柵類型                                                                 Nlu]f-i':  
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元件內(nèi)部場分析儀可以對任意形狀的光柵結(jié)構(gòu)進行分析。這里有幾個例子。 P|;f>*^Y  
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圖片:1-2310291I531S0.png

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