摘要 
dXsL0r*c  
6Rq +=X  
高數(shù)值孔徑物鏡廣泛用于光學(xué)光刻、顯微鏡等。因此，在聚焦模擬中考慮光的矢量性質(zhì)是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持這種鏡頭的光線和光場(chǎng)追跡分析。 通過(guò)光場(chǎng)追跡，可以清楚地展示不對(duì)稱焦斑，這源于矢量效應(yīng)。 照相機(jī)探測(cè)器和電磁場(chǎng)探測(cè)器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性，并且可以深入了解矢量效應(yīng)。 *UN*&DmF  
HL>l.IG?  

圖片:1-191014101922T4.png

*p0n^XZ% ?  
]rg-=Y k  
建模任務(wù) 4 EA$<n(A-  
.N\t3\9}  

圖片:1-191014101951344.png

Txpj#JD  
bmKvvq  
入射平面波 {`J!DFfur  
波長(zhǎng) 2.08 nm r(wtuD23q  
光斑直徑： 3mm n%~r^C_  
沿x方向線偏振 )fS6H<*  
P#