摘要 4BL,/(W] x  
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高數(shù)值孔徑物鏡廣泛用于光學(xué)光刻、顯微鏡等。因此，在聚焦模擬中考慮光的矢量性質(zhì)是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持這種鏡頭的光線和光場追跡分析。 通過光場追跡，可以清楚地展示不對稱焦斑，這源于矢量效應(yīng)。 照相機(jī)探測器和電磁場探測器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性，并且可以深入了解矢量效應(yīng)。 YuW\GSV00  
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圖片:1-191014101922T4.png

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]cY'6'}Hz  
建模任務(wù) w9h5f  
"4-Nnm  

圖片:1-191014101951344.png

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入射平面波 ju6_L<  
波長 2.08 nm PqeQe5  
光斑直徑： 3mm ;SP3nU))  
沿x方向線偏振 ^mb*w)-p?  
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如何進(jìn)行整個系統(tǒng)的光線追跡分析？ 0-O.*Q^  
如何計(jì)算包含矢量效應(yīng)的焦點(diǎn)的強(qiáng)度分布？ 5?Ao9Q]@  
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概覽 {oC69n
:  
•樣品系統(tǒng)預(yù)設(shè)為包含高數(shù)值孔徑物鏡。 5~6y.S  
•接下來，我們將演示如何按照VirtualLab中推薦的工作流程對樣本系統(tǒng)進(jìn)行模擬。 G#M]\)f%  
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圖片:1-19101410202X92.png

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光線追跡模擬 AR2+W^aM3  
•首先選擇“光線追跡系統(tǒng)分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作為模擬引擎。 /{} ]Hu  
•點(diǎn)擊Go！