摘要 wkIH<w|jb  
;$%+TN  
對于如背光、光學連接器和近眼顯示等許多應用來說，光如何高效地耦合到波導結構中是一個重要問題。對于這些應用，眾所周知傾斜光柵可以高效率地耦合單色光。這個例子展示了使用嚴格的傅立葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）對傾斜光柵進行優(yōu)化。對于預定義方向的級次，優(yōu)化得到的光柵的衍射效率超過90％。此外，還研究了斜率偏差和光柵圓角的影響。 KRXe\
Sx  
lT(MywNsg  

圖片:1-1ZR3110153312.png

Y:byb68  
-7pZRnv
 
建模任務 L3kms6ch  
5|>jz `  

圖片:1-1ZR31102241U.png

\}<nXn!  

W0nRUAo[  
1階的參數(shù)優(yōu)化 u;Z~Px4]v  
?VzST }  

圖片:1-1ZR3110300146.png

7M$>'PfO  
|bBYJ  
結果-容差分析 IGbQ L  
^(6.M\Q  

圖片:1-1ZR311033c64.png

1= <Qnmw  
9xWeVlfQ  
結果-容差分析 z{%G  
bF}~9WEa  

圖片:1-1ZR3110400923.png

2smLv1w@  
H