摘要 y1t,i. [  
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非傍軸衍射光束分束器的直接設(shè)計(jì)仍然是一個(gè)挑戰(zhàn)。由于衍射角度相當(dāng)大，元件的特征尺寸與光的波長(zhǎng)相近。因此，通常使用的傍軸建模方法變得不準(zhǔn)確，需要嚴(yán)格的技術(shù)。因此，在這個(gè)例子中，迭代傅里葉變換算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光學(xué)元件（DOE）的初步設(shè)計(jì)，并且之后使用傅里葉模式方法（FMM）也稱(chēng)為嚴(yán)格耦合波分析（RCWA）進(jìn)行嚴(yán)格的性能評(píng)估，包括在高度變化的情況下對(duì)優(yōu)點(diǎn)函數(shù)變化的研究。 ;6tGRh$b  
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任務(wù) Ybp';8V  
• 使用傍軸近似（TEA）進(jìn)行衍射1:7×7光束分束器的初步設(shè)計(jì)，用于結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)部分。 g&fq)d  
• 使用嚴(yán)格分析（FMM/RCWA）對(duì)性能進(jìn)行分析和進(jìn)一步優(yōu)化，以提高均勻性并評(píng)估零階的影響。 NflRNu:-  
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模擬與設(shè)置：工具簡(jiǎn)介與整體流程概覽 YjzGF=g#  
連接建模技術(shù)：衍射光束分束器 6GsB*hW  
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通過(guò)配置助手和IFTA進(jìn)行相位設(shè)計(jì) {Lq
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將傳輸函數(shù)轉(zhuǎn)化為結(jié)構(gòu) }q=uI`  
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衍射光束分束器表面 +J <<me4  
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衍射光束求解器 - TEA & FMM 8w9?n3z=}  
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光柵級(jí)數(shù) & 可編程光柵分析器 /(?,S{]