摘要 !y2yS/  
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復(fù)雜光學(xué)光柵結(jié)構(gòu)被廣泛用于多種應(yīng)用，如光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)等。利用傅里葉模態(tài)法(FMM，或稱RCWA) VirtualLab Fusion 提供了一種用于任意光柵結(jié)構(gòu)嚴(yán)格分析的簡(jiǎn)單方法。利用圖形用戶界面，用戶可以設(shè)置堆棧的幾何形狀，從而產(chǎn)生復(fù)雜的光柵結(jié)構(gòu)。本案例主要集中于具有二維周期光柵結(jié)構(gòu)的配置。 3u;0,:X&  

圖片:1-1Z515103219408.png

]2[\E~^KU  
1. 本案例主要說明： rK'O 85)eU  
 如何在光柵工具箱中配置二維光柵結(jié)構(gòu)，通過： yv)-QIC3  
- 基于介質(zhì)的定義類型 'P%&*%  
- 基于表面的定義類型 #wh[F"zX  
 計(jì)算前如何改變高級(jí)選型并檢查定義的結(jié)構(gòu)。 0p\Kf(|E*6  
 注意：在VirtualLab中，具有二維周期性的光柵結(jié)構(gòu)稱作3D光柵。因此，層狀光柵(一維光柵)被稱為2D光柵。 QlH[_Pi  
,wyEo>>4)  
2. 光柵工具箱初始化 JX{rum  
 初始化 =65XT^  
- 開始→ {D[z>I;D  
光柵→ +)_DaL E  
一般光柵光路圖(3D光柵) Ov.oy
ke4  
7s
VO?:bj}  

圖片:1-1Z51510325XH.png

9.6ni1a'  
 注意：對(duì)于特殊類型的光柵，如柱狀光柵，可以直接選擇特定的光路圖。 B!)Tytm9u  
9h6siK(F  
3. 光柵結(jié)構(gòu)配置 /-=h|A#Kh  
 首先，必須先定義基底的厚度與材料 +NOq>kH@  
 在VirtualLab中，光柵結(jié)構(gòu)有一個(gè)所謂的堆棧進(jìn)行定義 yv$hIU2X  
 堆�？梢愿綄僭诨�底的一側(cè)或兩側(cè)。 7--E$!9O,  
 例如，堆棧選擇附屬在第一表面。 gf/<sH2}  

圖片:1-1Z515103326459.png

F C=N}5u  
基于介質(zhì)的定義類型 ,V;HMF.  
(例如：柱狀光柵) ~D/1U)kt  
1. 堆棧編輯器 U1|{7.R  
 在堆棧編輯器中，可以從庫(kù)中增加和插入界面和介質(zhì)。 Ve40H6Ox  
 為了以特殊材料定義光柵，必須添加兩個(gè)平面界面作為邊界。 pE.TG4  
e&Z ?I2J  

圖片:1-1Z515103420130.png

#aKUD  
Nfmr5MU_  
 兩個(gè)平面界面間的介質(zhì)可以使均勻的，也可以是調(diào)制的。 b
$`/f:_  
 通過使用后者，可以非常有效地描述復(fù)雜的光柵結(jié)構(gòu)，如柱狀光柵。、 wi
M4,  

圖片:1-1Z515103446211.png

t^~itlE{  
J@ 8OU  
2. 柱狀光柵介質(zhì) J d,9<m$  
 在庫(kù)目錄“LightTrans Defined”中，在柱狀介質(zhì)庫(kù)中可以找到鉻柱。 t\n'Kuk`  
 這種類型的介質(zhì)可以模擬柱狀結(jié)構(gòu)以及襯底上的銷孔。 ?H8dyQ5"  

圖片:1-1Z515103542J0.png

-L wz T  
 在本例中，由鉻組成的矩形柱位于熔融石英基底上 (:}}p}u  
 在堆棧編輯器的視圖中，不同的材料根據(jù)折射率(深色意味著更高)用其他顏色表示。 OM@z5UP  
 注意:堆棧編輯器總是提供x-z平面的橫斷面視圖。 3u,B<  
 請(qǐng)注意:界面的順序總是從基板的表面開始計(jì)算。 FbW$H]C$  
 選中的界面以紅色高亮顯示。 Xpfw2;`U'  
 此外，這里不能定義光柵前面的介質(zhì)（后一個(gè)界面后面）。它是自動(dòng)從光柵元件前面的材料中取出的。 @q{.shqo  

圖片:1-1Z515103G4103.png

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可以在光學(xué)設(shè)置編輯器中更改此材料。 x l=i_  
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