摘要 aKDY_D { ADd[V UzxL" `^7 對于許多
光學應用來說,抑制元件表面的反射是一個引人關注的問題。一種非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
納米和微米
結構,這些結構受到自然界(如蛾眼)的啟發(fā)。這些結構的特征尺寸處于亞
波長領域,具有獨特的波長和
角度依賴性質(zhì)。本文介紹了在
VirtualLab Fusion中分析和設計確定性抗反射結構的方法。
z`wIb tF:AnNp= 設計任務 |J-X3`^\H j'D%eQI,V
?9`j1[0 連接建模技術:蛾眼結構 ANhqS |V a:*3u Pk;\^DRC 光柵階數(shù)分析器 MgXZN{ 5W&L6.J}+ I0m7;M7 P 元件內(nèi)場分析器:FMM Sq5,}oT_{j 39v Bsc e9{ii2M 參數(shù)運行 wlXs/\es OG5{oH#K J :O!4gI 參數(shù)優(yōu)化 bf_
>?F^ ,Kv6!ib6Q Uu_qy(4 模擬結果 tm~9XFQ< 2Re8rcQQU 通過計算器進行參考測量 I~&*^q6 | eC-&.Fl p:~#(/GWf 結構內(nèi)的場 0z>IYw|UB " .7@ ]3 "0#Y }F>RIjj 在參數(shù)空間中掃描以獲取初始解決方案 eKiDc=@ t/[2{'R4 n9Fq^^? 初始解決方案 #1 的參數(shù)優(yōu)化 B