這是一維周期線
光柵案例的一個變形。它的靈感來自閃耀光柵。在一維線柵的案例中,周期單元晶胞包含通過光柵的二維橫截面。這里的橫截面包含兩個寬度、高度和
角度不同的三角形。這些三角形線條位于襯底上,被背景
材料包圍。示例中的材料選擇為鉻(線柵)、
玻璃(基底)和空氣(背景材料)。
>ajuk W4(v6>5l 光柵被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計算近場分布。同時通過后處理傅里葉變換計算透射
衍射級次的振幅。下圖顯示了當(dāng)
波長為193nm時,平面波從襯底側(cè)垂直入射到
結(jié)構(gòu)內(nèi)的近場強(qiáng)度。
2K;#Evn'j !=3Rg-'d1 S偏振光照明的近場強(qiáng)度
cB#nsu> ![](http://m.lslt888.com/attachment/thumb/Mon_2402/135_1_4116dde2003d64b.png?151288)
P偏振光照明的近場強(qiáng)度