這是一維周期線
光柵案例的一個(gè)變形。它的靈感來自閃耀光柵。在一維線柵的案例中,周期單元晶胞包含通過光柵的二維橫截面。這里的橫截面包含兩個(gè)寬度、高度和
角度不同的三角形。這些三角形線條位于襯底上,被背景
材料包圍。示例中的材料選擇為鉻(線柵)、
玻璃(基底)和空氣(背景材料)。
:9L}jz R`$jF\"`r 光柵被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計(jì)算近場分布。同時(shí)通過后處理傅里葉變換計(jì)算透射
衍射級次的振幅。下圖顯示了當(dāng)
波長為193nm時(shí),平面波從襯底側(cè)垂直入射到
結(jié)構(gòu)內(nèi)的近場強(qiáng)度。
c{to9Lk.# mpD.x5jm< S偏振光照明的近場強(qiáng)度
k>MXOUaW. ![](http://m.lslt888.com/attachment/thumb/Mon_2402/135_1_4116dde2003d64b.png?151288)
P偏振光照明的近場強(qiáng)度