摘要
PL B=%[ <h>fip3o F-Theta
透鏡通常用于Galvo類掃描儀的
激光材料加工
系統(tǒng)。 對(duì)于這樣的
鏡頭，聚焦點(diǎn)沿目標(biāo)平面的位移與鏡頭
焦距和掃描角度的乘積成正比。然而，沒(méi)有完美的 F-Theta 系統(tǒng)，因此在任何給定的系統(tǒng)中都會(huì)出現(xiàn)與理想行為的偏差。 借助快速物理
光學(xué)建模和設(shè)計(jì)
軟件 VirtualLab Fusion 中的掃描源，我們通過(guò)測(cè)量不同角度下實(shí)際光斑位置與期望值之間的偏差來(lái)分析給定 F-Theta 透鏡的性能。
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)d a8 Ru 任務(wù)描述
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E]G q!fA&< 系統(tǒng)構(gòu)建模塊 - 掃描
光源 Fl(ZKpSZU (YH{%8
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C 可以使用掃描光源定義生成一組在不同方向傳播的截?cái)嗥矫娌ǖ亩嗄９庠础?span style="display:none"> Gqu0M`+7
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用戶可以指定應(yīng)考慮多少模式并定義強(qiáng)度分布。 更多信息如下：
@[ N~ ;> ,3TD $2};. 如何設(shè)置一個(gè)掃描光源 ]tV{#iIJ* k5\
zGsol 系統(tǒng)構(gòu)建模塊 – 鏡頭系統(tǒng)組件
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.3SjkC4I Z"&ODVP 鏡頭系統(tǒng)組件允許輕松定義由各種界面組成的組件。 可以包括例如：平面、球形和圓柱形界面以及配置它們之間的介質(zhì)。
e/I{N0SR pv.),Iv-68 VirtualLab Fusion技術(shù)系統(tǒng)構(gòu)建塊——
參數(shù)耦合
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TgG)btQ wA+4 :CF @ 通過(guò)參數(shù)耦合，可以將系統(tǒng)中不同參數(shù)的值聯(lián)系起來(lái)。 在此用例中，此功能用于自動(dòng)將探測(cè)器圍繞所需焦點(diǎn)居中。 更多信息如下：
t#Yh! L6> Ho {?m ^ VirtualLab Fusion中的參數(shù)耦合 fC:\Gh5 z>#$#:Z4 系統(tǒng)構(gòu)建模塊——畸變分析器
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3]82gZG G q:eAL'OkM 實(shí)際焦點(diǎn)位置與參考焦點(diǎn)位置之間的偏差表明了 F-Theta 鏡頭的性能。 可以使用畸變分析器計(jì)算此信息。
j>=".^J C3 Z(k} 雖然實(shí)際焦點(diǎn)位置將通過(guò)
模擬計(jì)算，但參考焦點(diǎn)位置可以指定為角度本身的線性或其切線。
s 0 'U[] vYun^(_- 總結(jié)-組件…
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_ e^V\O> 667tL( 系統(tǒng)印象
J8[Xl. Yhdt8[ 2 
35\0g& JIkmtZv 性能評(píng)估 – 光斑位置偏差
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"A$Y)j<#G 畸變分析器可以快速估計(jì) F-Theta 鏡頭的性能，可以通過(guò)將場(chǎng)傳播到焦平面來(lái)進(jìn)行驗(yàn)證。
~#xRoBy3 FiH!) 6T 性能評(píng)估 - 光斑直徑測(cè)量
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