摘要 <uF [,  
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掃描干涉儀是用于執(zhí)行表面高度測量的技術(shù)。 通過利用白光光源的低相干性，僅當(dāng)光程長度差在相干長度內(nèi)時才會出現(xiàn)干涉圖樣。 因此，它可以實現(xiàn)精確的顯微鏡測量。在本案例中，氙氣燈和邁克爾遜干涉儀被構(gòu)建并用于測量表面平滑變化的樣品。 Vf{2dZZ{1  
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圖片:1-191209152110491.png

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建模任務(wù) jFj~]]j  
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仿真干涉條紋 d]M[C[TOX  
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走進(jìn)VirtualLab Fusion }h~'AM  
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圖片:1-191209152K5539.png

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VirtualLab Fusion中的工作流程 )DZTB  
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•設(shè)置輸入場 /Antb6E  
−基本光源模型[教程視頻] b]`^KTYK  
•使用導(dǎo)入的數(shù)據(jù)自定義表面輪廓 dp^N_9$cdO  
•定義元件的位置和方向 r69WD .  
− LPD II：位置和方向[教程視頻] A ^B@VuK  
•正確設(shè)置通道以進(jìn)行非序列追跡 BQ#jwu0e  
−非序列追跡的通道設(shè)置[用例] O:u%7V/  
•使用參數(shù)運行檢查影響/變化 Wg1tip8s  
−參數(shù)運行文檔的使用[用例] uJPH~mdW  
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