摘要 vqF=kB"P  
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掃描干涉儀是用于執(zhí)行表面高度測量的技術(shù)。 通過利用白光光源的低相干性，僅當光程長度差在相干長度內(nèi)時才會出現(xiàn)干涉圖樣。 因此，它可以實現(xiàn)精確的顯微鏡測量。在本案例中，氙氣燈和邁克爾遜干涉儀被構(gòu)建并用于測量表面平滑變化的樣品。 ?J|
 
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建模任務(wù) ,7d#t4  
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仿真干涉條紋 Lm^vS u  
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走進VirtualLab Fusion #|V)>")  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 aMK\&yZD  
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•設(shè)置輸入場
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−基本光源模型[教程視頻] kK&AK2  
•使用導入的數(shù)據(jù)自定義表面輪廓 ]P_yN:~  
•定義元件的位置和方向 r.]IGE|  
− LPD II：位置和方向[教程視頻] L