1.摘要
hO3>Gl5< 6T>e~<^ 白光干涉儀是一種非接觸測量技術,用于如表面輪廓或微小位移的高
精度測量。利用一個邁克爾遜干涉儀
系統(tǒng)和一個氙燈
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一個白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長度等
光譜特性,結果表明只有當兩臂的路徑長度基本相同時才會出現(xiàn)干涉圖樣。
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`~'yy q Td%[ - 2. 建模任務
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IHCEuK 4J3cQ;z 3. 干涉條紋的變化
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/*DC`,q u!TVvc 4. 走進VirtualLab Fusion
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Pi%Z 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
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"s >q0c!,Ay 6. VirtualLab Fusion 技術
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