摘要 OE_>Kw7q  
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高數(shù)值孔徑的物鏡廣泛用于光刻、顯微等方面。 因此，在仿真聚焦時(shí)考慮光的矢量性質(zhì)是至關(guān)重要的。VirtualLab可以支持此類透鏡的光線和場(chǎng)追跡分析。通過場(chǎng)追跡分析，可以清楚地顯示出由于矢量效應(yīng)引起的非對(duì)稱焦點(diǎn)。相機(jī)探測(cè)器和電磁場(chǎng)探測(cè)器可以方便地研究聚焦區(qū)域的場(chǎng)，也可以深入研究矢量效應(yīng)。 (d$ksf_[%f  
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建模任務(wù) _.G p}0a  
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概述 84UI)nE:Q  
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•案例系統(tǒng)已預(yù)先設(shè)置了高數(shù)值孔徑物鏡。 TWk1`1|  
•接下來，我們演示如何按照VirtualLab中建議的工作流程在示例系統(tǒng)上執(zhí)行仿真。 Q^z&;%q1  
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光線追跡仿真 t ]yD95|  
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•首先選擇“光線追跡系統(tǒng)分析器”作為模擬引擎。 H&3i[D!p  
•單擊go！ QwL'5ws{q  
•獲得了3D光線追跡結(jié)果。 qH-':|h7  
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光線追跡仿真 Lm}J&^>  
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•然后，選擇“光線追跡”作為模擬引擎。 "Ooc;xD3<  
•單擊go！ qqR8E&Y{  
•結(jié)果得到點(diǎn)圖（二維光線追跡結(jié)果）。 5$C]$o}  
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場(chǎng)追跡仿真 Y']D_\y  
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•切換到場(chǎng)追跡，然后選擇“第二代場(chǎng)追跡”作為模擬引擎。 K@UQ O  
•單擊go！ L[s8`0  
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場(chǎng)追跡仿真（相機(jī)探測(cè)器） ]J%p&y+6