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    [技術]分析高數值孔徑物鏡的聚焦特性 [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2024-04-11
    摘要 zQsW*)L  
    249DAjn+  
    高數值孔徑物鏡廣泛用于光刻、顯微等方面。 因此,在仿真聚焦時考慮光的矢量性質是至關重要的。VirtualLab可以支持此類透鏡光線和場追跡分析。通過場追跡分析,可以清楚地顯示出由于矢量效應引起的非對稱焦點。相機探測器和電磁場探測器可以方便地研究聚焦區(qū)域的場,也可以深入研究矢量效應。 xc1-($Q,  
    ?p &Xf>K  
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    ZtOv'nTD  
    建模任務 _>Oc> .MB  
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    bMN ]co  
    概述 a}kPc}n\  
    ~4`3p=$  
    •案例系統(tǒng)已預先設置了高數值孔徑物鏡。 D#d \1g  
    •接下來,我們演示如何按照VirtualLab中建議的工作流程在示例系統(tǒng)上執(zhí)行仿真。 7m;<b$  
    [LKzH!  
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    Jr,**,wA  
    光線追跡仿真 k$ w#:Sx  
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    •首先選擇“光線追跡系統(tǒng)分析器”作為模擬引擎。 X "Q\MLy  
    •單擊go! ePiZHqIsv/  
    •獲得了3D光線追跡結果。 p w=o}-P{  
    .-.b:gdO(  
    /3qKsv#  
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