摘要 ]42l:at  
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對于許多應(yīng)用來說（例如背光、光學(xué)連接器和近眼顯示），如何將光高效地耦合到波導(dǎo)結(jié)構(gòu)中是一個重要的問題。對于這些應(yīng)用，傾斜光柵因為能夠高效地耦合單色光而被熟知。在此示例中，介紹了使用嚴(yán)格的傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）對傾斜光柵進(jìn)行優(yōu)化。對于給定的方向級次，優(yōu)化的光柵展示出超過90％的衍射效率。此外，還研究了斜率偏差和光柵圓角的影響。 Tkf !Y?  
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1級參數(shù)優(yōu)化 AtI,&S#{  
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結(jié)果-容差分析 (WvA9s{/  
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結(jié)果-容差分析 X*Zv,Wm  
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VirtualLab Fusion一瞥 ^(R gSMuT`  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 l<+k[@Vox  
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構(gòu)建光柵結(jié)構(gòu) 2Z~ofrj  
−使用特殊材料的光柵結(jié)構(gòu)設(shè)定[用例] &0raa  
−傾斜光柵高級設(shè)定[用例] ,U}8(D~:  
•光柵衍射效率分析 C'ZU .Y  
−光柵階序分析器[用例] \z 'noc  
•使用參數(shù)優(yōu)化進(jìn)行光柵參數(shù)優(yōu)化 Qw:j2g2H7  
•使用參數(shù)運行的容差分析 \N30SG?o  
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