摘要
pR61bl)  
ij ?7MP  
高數(shù)值孔徑物鏡廣泛用于光學(xué)光刻、顯微鏡等。因此，在聚焦模擬中考慮光的矢量性質(zhì)是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持這種鏡頭的光線和光場追跡分析。 通過光場追跡，可以清楚地展示不對稱焦斑，這源于矢量效應(yīng)。 照相機(jī)探測器和電磁場探測器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性，并且可以深入了解矢量效應(yīng)。 fB8, )&  
N1$u@P{  

圖片:1-191014101922T4.png

Cz0FA]-g  
Dh8ECy5k<*  
建模任務(wù) $*ff]>#  
l~i?  

圖片:1-191014101951344.png

jE*{^+n  
N d].(_  
入射平面波 >Zb!?ntN`t  
波長 2.08 nm eFG/!b<17  
光斑直徑： 3mm {DRk{>K,