摘要 er\:U0fr#@  
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高數(shù)值孔徑物鏡廣泛用于光學(xué)光刻、顯微鏡等。因此，在聚焦模擬中考慮光的矢量性質(zhì)是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持這種鏡頭的光線和光場(chǎng)追跡分析。 通過光場(chǎng)追跡，可以清楚地展示不對(duì)稱焦斑，這源于矢量效應(yīng)。 照相機(jī)探測(cè)器和電磁場(chǎng)探測(cè)器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性，并且可以深入了解矢量效應(yīng)。 xucIjPi]
 
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圖片:1-191014101922T4.png

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建模任務(wù) wL|7mMM,  
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圖片:1-191014101951344.png

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入射平面波 '!j(u@&!  
波長(zhǎng) 2.08 nm { ;' :h  
光斑直徑： 3mm 1(F
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沿x方向線偏振 v7$9QVze  
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如何進(jìn)行整個(gè)系統(tǒng)的光線追跡分析？ b2%blQgo  
如何計(jì)算包含矢量效應(yīng)的焦點(diǎn)的強(qiáng)度分布？ v*gLNB,ZH  
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概覽 .kzms  
•樣品系統(tǒng)預(yù)設(shè)為包含高數(shù)值孔徑物鏡。 kBUufV
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•接下來，我們將演示如何按照VirtualLab中推薦的工作流程對(duì)樣本系統(tǒng)進(jìn)行模擬。 8|_K  
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