摘要 i--t ?@#  
kXMp()N8`  
對(duì)于如背光、光學(xué)連接器和近眼顯示等許多應(yīng)用來說，光如何高效地耦合到波導(dǎo)結(jié)構(gòu)中是一個(gè)重要問題。對(duì)于這些應(yīng)用，眾所周知傾斜光柵可以高效率地耦合單色光。這個(gè)例子展示了使用嚴(yán)格的傅立葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）對(duì)傾斜光柵進(jìn)行優(yōu)化。對(duì)于預(yù)定義方向的級(jí)次，優(yōu)化得到的光柵的衍射效率超過90％。此外，還研究了斜率偏差和光柵圓角的影響。 +2~kHrv  
?{{w[U6NE  

圖片:1-1ZR3110153312.png

X W)TI  
!~@GIr  
建模任務(wù) qLN^9PdEE  
d8j1L/e  

圖片:1-1ZR31102241U.png

_kj]vbG^;  
tMIYVHGy  
1階的參數(shù)優(yōu)化 @;Ttdwg#J  
nM )C^$3<t  

圖片:1-1ZR3110300146.png

kSQ8kU_w+  
wl Oeoi  
結(jié)果-容差分析 a|aVc'j  
*z=_sD?1  

圖片:1-1ZR311033c64.png

[I $+wWW_