我們用偏振來(lái)描述光波電場(chǎng)的方向。雖然是很復(fù)雜,但它的影響是完全明確和可計(jì)算的。圖1顯示了一個(gè)簡(jiǎn)單的長(zhǎng)波通濾波器在斜入射時(shí)的計(jì)算性能,其曲線(xiàn)標(biāo)記為p-偏振、s-偏振和平均極化。這些名稱(chēng)是什么意思?
<_yy0G >"[Nmx0;w 圖1. 在45°條件下計(jì)算的600nm長(zhǎng)波通濾光片,顯示了P偏振、S偏振和平均偏振的透射率。
d0YQLh t[:G45].-k 讓我們將討論局限于完全各向同性的材料。所涉及的過(guò)程是線(xiàn)性的,允許我們將任何問(wèn)題分解為一系列可以單獨(dú)遵循的簡(jiǎn)單分量。對(duì)于Essential Macleod中的所有計(jì)算,基本分量是線(xiàn)偏振平面波(或單色光)。
'H(khS `S|T&|ad0 當(dāng)我們討論偏振時(shí),我們經(jīng)常提到線(xiàn)偏振或平面偏振、圓偏振和橢圓偏振。在計(jì)算中,所有這些偏振被表示為兩個(gè)正交線(xiàn)偏振的組合,其可以單獨(dú)計(jì)算并且在透射或反射中的取向不變。它們有時(shí)被稱(chēng)為偏振的本征模式,這在斜入射時(shí)尤為重要。
光學(xué)薄膜的作用是改變每種組分的振幅和相位。膜層的性能量化了這些變化。
]\F}-I[ 0RHjA&r3v 如果沒(méi)有參考系,那么這些性能
參數(shù)是沒(méi)有意義的,我們需要定義基準(zhǔn)軸,電場(chǎng)的正方向,以及我們比較相位的點(diǎn)。Z軸垂直于膜層表面,其正方向與入射方向一致。X軸沿著膜層表面,與Z軸一起定義入射面。原點(diǎn)是Z軸與前表面面或入射面的交點(diǎn)。我們通常將入射面可視化為顯示系統(tǒng)的平面,Y軸垂直于顯示器,并向外指向觀察者。
lz4M)pL^ XnB-1{a1 在垂直入射時(shí),對(duì)線(xiàn)性偏振方向影響,因此我們將入射波中的電場(chǎng)的正方向設(shè)置為沿著正y軸。相同的慣例適用于反射波和透射波。對(duì)于相位參考點(diǎn),我們選擇入射波和反射波的坐標(biāo)原點(diǎn),但是z軸從發(fā)射波的后表面或出射表面出現(xiàn)的點(diǎn),我們選擇時(shí)間變量,使入射波的相位在參考點(diǎn)處為零。然后,反射和透射波的相位也就是反射和透射的相位變化。圖2顯示了這種約定。
g^)) SN;_.46k 我們約定中的不連續(xù)性會(huì)造成很大的困難,因此我們確保斜入射約定與正常入射約定兼容。我們需要一個(gè)s和p偏振的約定,因此選擇電場(chǎng)的正方向,如圖3所示。很明顯,這一慣例在正常情況下崩潰,如圖2所示。
h]WW?. 圖2. 電矢量正方向的垂直入射慣例。這適用于所有可能的線(xiàn)偏振方向。
?ajVf./Ja 圖3. p和s偏振的電矢量正方向的慣例。
<f;Xs( gT2k}5d}p 反射率R和透射率T是計(jì)算的重要參數(shù),我們必須小心它們?cè)谛比肷鋾r(shí)的定義。所涉及的光是無(wú)限大的平面波,它們超出了我們的接收器。在沒(méi)有吸收的情況下,我們希望R和T相加等于一個(gè)單位(或100%),但是由于折射以及接收器位置的原因,這將無(wú)法實(shí)現(xiàn)。因此,我們?cè)谟?jì)算中使用輻照度的垂直分量。當(dāng)光束直徑小于接收器的光束直徑時(shí),該定義與使用受限光束(例如來(lái)自
激光器的光束)的測(cè)量完全一致。
c@lH w|:ev_c| 除了反射率和透射率外,其他基本參數(shù)是參考點(diǎn)處反射波和透射波相對(duì)于入射波相位的變化。
LZ8xh a6'T]DW0W Paul Drude在19世紀(jì)末發(fā)明了橢圓偏振
光譜法,作為測(cè)量金屬光學(xué)常數(shù)的技術(shù)。測(cè)量橢圓偏振的形狀僅涉及相對(duì)測(cè)量,避免了絕對(duì)測(cè)量的巨大困難。定義橢圓需要兩個(gè)量,它們可以采用不同的形式。 橢圓度和方向角是兩個(gè)這樣的量,但最常見(jiàn)的是沿兩個(gè)定義的參考軸測(cè)量的振幅的比率及其相對(duì)相位。 不幸的是,振幅比可以從零到無(wú)窮大變化,這是一個(gè)困難的范圍,更合適的數(shù)量是它的反正切。 如果參考方向是x,y和z,則z是沿著傳播方向,當(dāng)我們定義兩個(gè)角度量時(shí),ψ(psi)和Δ(delta)為
Bp/25jy \9 k3;zw Hlz$@[$ a和φ分別代表幅度和相位。光學(xué)膜層的反射和透射會(huì)影響ψ和Δ的值,如果選擇p和s方向作為參考方向,則可以簡(jiǎn)化計(jì)算。那么與表面相關(guān)的tanψ值是p和s偏振的幅度變化的比率的絕對(duì)值,Δ值是相位變化的差值。如果參考方向在入射波中的方向相似,則將舊的tanψ乘以膜層的tanψ,并將舊的Δ加到膜層的Δ上,得到新的參數(shù)。然而,存在一個(gè)小問(wèn)題,稱(chēng)為奇偶校驗(yàn)偏移。
$1n\jN Wql,*| 當(dāng)我們觀察鏡子中物體的反射時(shí),我們看到的圖像與物體不完全相同,通常我們將其視為左右交換。無(wú)論我們解釋它的哪種方式,右手系統(tǒng)的軸都變?yōu)樽笫,這也適用于我們的橢圓偏振參數(shù)突然的左手反射。通常采用的一種解決方案是反轉(zhuǎn)反射中p偏振的正方向,但不是薄膜計(jì)算的良好解決方案。 為了保持一致性,我們應(yīng)該在垂直入射時(shí)反轉(zhuǎn)反射的p方向,但是如果沒(méi)有入射平面我們?cè)趺茨苓@樣做呢? 我們選擇更簡(jiǎn)單的解決方案。 保留我們對(duì)p和s方向的定義,我們?cè)诜瓷渲卸x橢圓參數(shù),但不在透射中定義
@;Xa&* `.F3&pA T^S$|d 這是Essential Macleod中使用的定義。 注意,Δ也稱(chēng)為相對(duì)延遲,或者有時(shí)簡(jiǎn)稱(chēng)為延遲。在垂直入射時(shí),tanψ是1,因此ψ是45°,并且由于奇偶校驗(yàn)位移,Δ是180°。這些橢圓量也可以作為
優(yōu)化目標(biāo)輸入。
U98e=57N [#2X 對(duì)于非偏振光,在p方向和s方向之間沒(méi)有相位關(guān)系,但是在傾斜入射時(shí)將存在偏振效應(yīng)。如果接收器對(duì)偏振不敏感,那么該測(cè)量將對(duì)應(yīng)于p和s偏振的平均值。由于兩種模式的性能通常不同,因此將存在有效的ψ,并且也可以計(jì)算。
^4=%~Yx O5ZR{f& 斜入射對(duì)偏振的敏感度在
光學(xué)系統(tǒng)中可能會(huì)出現(xiàn)一些困難的問(wèn)題。Polarization Maintenance(PM)是我們用來(lái)量化分量或系統(tǒng)保持偏振功能的術(shù)語(yǔ),如圖4所示。與入射面成45°角的線(xiàn)偏振光,由一個(gè)完善的系統(tǒng)反射或透射,輸出時(shí)將保持不變。ψ將保持在45°和Δ在0°或180°之間,取決于奇偶校驗(yàn)。我們通過(guò)測(cè)量所需方向的輸出輻照度和任何正交偏振光的輸出輻照度來(lái)檢查這一點(diǎn),并將PM定義為所需偏振模式的輻照度與總輻照度之比,其比例為0至100.0%。PM是一個(gè)可優(yōu)化的量。
sV`p3L8pl 圖4. 115nm SiO2保護(hù)膜銀反射鏡在45°入射時(shí)的反射和反射PM。
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