具有直壁或傾斜側(cè)壁的二元
光柵已成為許多
光學應用中的關鍵部件。 感謝
納米壓印技術，使小尺寸的光柵的制造已經(jīng)變得可行。
VirtualLab Fusion采用內(nèi)置的傅里葉模態(tài)方法（FMM，也稱為RCWA）和不同的
優(yōu)化算法，為二元光柵提供了完整的用戶友好的設計工作流程，和隨后的制造誤差分析，如圓邊效應。
!4 z vkJO zDxJK 高效偏振無關透射光柵的分析與設計 $EdL^Q2KAy &- My[t '!MKZKer 我們演示了如何嚴格分析二元光柵的偏振相關特性; 以及如何優(yōu)化二元
結構以獲得高偏振無關的
衍射效率。
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