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光柵等光學設備對光的偏振很敏感。 因此，在仿真中正確考慮光的偏振非常重要。 在實踐中，光柵有時使用非偏振光作為輸入。 我們展示了如何將這種非偏振光建模為兩個正交偏振態(tài)的平均值，用于 VirtualLab Fusion 中的光柵仿真。 提供了示例來說明軟件中的相應設置。 Z@i"/~B|4\  
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光柵仿真中的非偏振光 >v\t> [9t  
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• 光柵分析 E![Ye@w  
– 對于使用傅立葉模態(tài)方法 (FMM / RCWA) 的單光柵分析，使用平面波入射來計算 CRpMpPi@}  
例如 衍射效率是所研究光柵的固有特性。 Qf=+%-$Y  
• 非偏振平面波 ;^yR,32F  
– 考慮沿 z 方向的平面波，可以認為非偏振光在統(tǒng)計上可以同時具有任何偏振狀態(tài)。 J/T$.*X  
– 可以將任意偏振態(tài)投影到兩個正交狀態(tài)上； 統(tǒng)計上，非偏振光沿著形成這個正交基礎的兩個狀態(tài)給出了相等的投影。 C~o\Q#*j  
– 因此，我們可以以非相干的方式使用兩個正交狀態(tài)的平均值來表示非偏振光。 6$.I>8n  
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光柵仿真中的光源設置 VyF|d?b  
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•  光源偏振態(tài)的手動控制 )fGIe rS  
– 光在 VirtualLab Fusion 中始終以矢量形式表示，用戶可以完全控制光源設置中的偏振狀態(tài)。 {D>@ZC  
– 遵循基本概念，可以根據非偏振光的需要，使用特定的輸入偏振態(tài)進行光柵模擬。。 例如，通過選擇 TE 和 TM 偏振作為兩個正交基態(tài)，我們可以對兩種配置獨立執(zhí)行光柵仿真，然后通過功能區(qū)菜單功能手動平均結果（如下所述）。 I=;.o>  
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光柵仿真中的偏振相關分析儀 zyh #ygH  
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• 光柵偏振分析儀 Q"(*SA+-|  
– 對于光柵衍射效率計算，VirtualLab Fusion 提供了偏振分析儀，用于研究偏振相關效應。 GJeP~   
– 與光柵階次分析器相比，偏振分析器對入射的偏振態(tài)有額外的控制。 a7~%( L@r  
– 偏振分析儀中的偏振設置獨立于光學設置中的光源設置。 s%Y8;D,~+  
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示例 #1：使用非偏振紫外光的 Talbot 圖像 ;"R1>tw3)  
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