摘要 |34k;l]E
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5 xr2 )r"R 光柵等
光學(xué)設(shè)備對光的偏振很敏感。 因此，在
仿真中正確考慮光的偏振非常重要。 在實(shí)踐中，光柵有時(shí)使用非偏振光作為輸入。 我們展示了如何將這種非偏振光建模為兩個(gè)正交偏振態(tài)的平均值，用于 VirtualLab Fusion 中的光柵仿真。 提供了示例來說明
軟件中的相應(yīng)設(shè)置。
F$i50s N#-%b"( 光柵仿真中的非偏振光 %ly&~&0
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+mG"m h F [.l,#-vp YP!}Bf • 光柵分析
DPY+{5q2 – 對于使用傅立葉模態(tài)方法 (FMM / RCWA) 的單光柵分析，使用平面波入射來計(jì)算
Zah<e6L 例如
衍射效率是所研究光柵的固有特性。
i= ^6nwD& • 非偏振平面波
9k93:#{WE – 考慮沿 z 方向的平面波，可以認(rèn)為非偏振光在統(tǒng)計(jì)上可以同時(shí)具有任何偏振狀態(tài)。
'~yxu$aK – 可以將任意偏振態(tài)投影到兩個(gè)正交狀態(tài)上； 統(tǒng)計(jì)上，非偏振光沿著形成這個(gè)正交基礎(chǔ)的兩個(gè)狀態(tài)給出了相等的投影。
!*DY dqQ/ – 因此，我們可以以非相干的方式使用兩個(gè)正交狀態(tài)的平均值來表示非偏振光。
>G1]#'6; YO.ddy*59 光柵仿真中的光源設(shè)置 ,V! Wo4M
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O0 43=)akJi \*5z0A9)5) • 光源偏振態(tài)的手動(dòng)控制
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– 光在 VirtualLab Fusion 中始終以矢量形式表示，用戶可以完全控制光源設(shè)置中的偏振狀態(tài)。
L5:1dF – 遵循基本概念，可以根據(jù)非偏振光的需要，使用特定的輸入偏振態(tài)進(jìn)行光柵
模擬。。 例如，通過選擇 TE 和 TM 偏振作為兩個(gè)正交基態(tài)，我們可以對兩種配置獨(dú)立執(zhí)行光柵仿真，然后通過功能區(qū)菜單功能手動(dòng)平均結(jié)果（如下所述）。
]/p>p3@1C ;<o?J M 光柵仿真中的偏振相關(guān)分析儀 "8) %XSb
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>t 9D I uu-M7>+ >BJ BM | • 光柵偏振分析儀
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h#* – 對于光柵衍射效率計(jì)算，VirtualLab Fusion 提供了偏振分析儀，用于研究偏振相關(guān)效應(yīng)。
/^K-tz-R – 與光柵階次分析器相比，偏振分析器對入射的偏振態(tài)有額外的控制。
0T@axQ[% – 偏振分析儀中的偏振設(shè)置獨(dú)立于光學(xué)設(shè)置中的光源設(shè)置。
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@wIbU 6[F XgCb 示例 #1：使用非偏振紫外光的 Talbot 圖像 PXl%"O%d |BtFT 
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Et& , <7HLV 在某個(gè)位置檢測到的場 Rm_+kp@\ mDt!b6N/ 
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< h|&7 ]l=C iG4!M 非相干求和 ]:n9MFv • 兩個(gè)線性偏振輸入
光束的結(jié)果的非相干求和可以通過功能區(qū)菜單功能完成。
=~,2E;#X • 要執(zhí)行非相干求和，應(yīng)將強(qiáng)度數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為數(shù)值數(shù)據(jù)數(shù)組文檔。
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RP 6<#tq, ! u: ;Ew 非相干求和 `PLax@]2 SEWdhthP 
'" hSX= 正交偏振狀態(tài)的選擇 Y~r)WV!G
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SgN?[r ) A*|\E:fo 示例#2：偏振無關(guān)透射光柵的分析 |rgPHRX^Hn
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})) A[F@rUZp 優(yōu)化后的光柵參數(shù) 7 > _vH]
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#N"QTD|i YoK )fh$ 光柵偏振分析儀 l%u8Lq
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