復(fù)雜
光柵結(jié)構(gòu)被廣泛應(yīng)用于
光譜儀、近眼顯示
系統(tǒng)等領(lǐng)域。VirtualLab Fusion
軟件用傅立葉模態(tài)法（FMM,或者RCWA）一種簡易的
仿真方法來嚴(yán)格分析任意的光柵結(jié)構(gòu)。使用圖形用戶界面，可以設(shè)置堆棧的幾何圖形，從而生成復(fù)雜的光柵結(jié)構(gòu)。 此例程主要用于構(gòu)建具有二維周期性特征的光柵。
• 光柵工具箱中構(gòu)建二維光柵的方法 − 基于介質(zhì)定義的類型 − 基于界面定義的類型
t{g@z3 • 計(jì)算之前修改高級選項(xiàng)和檢查定義的結(jié)構(gòu)的方法。
#]dq^B~~ • 提示：在VirtualLab軟件中的光柵結(jié)構(gòu)中，表現(xiàn)為二維周期性的被稱作 三維光柵。同樣的，層狀光柵（一維周期性）被稱作二維光柵。
@ <3E `j'p X{Fr 初始化光柵工具箱
j85B{Mab& • 初始化
(kVY\!UAt − 開始菜單欄 (Start)
e]nP7TIU 光柵菜單欄(Grating)
*v%gNq 通用光柵光路圖（三維光柵） General Grating Light Path Diagram(3D Gratings)
$@@ii+W}\ • 提示：對于特殊類型的光柵，例如柱形光柵，
]h~F %
可以在光柵工具箱中直接點(diǎn)擊柱形光柵光路
e,{k!BXU#' 圖（三維光柵）(Pillar Grating Light
CcW3o"=4 Path Diagram(3D Gratings))
|||m5(`S a_bZT4 設(shè)置光柵結(jié)構(gòu)
m_Pk$Vwx @sG*u >
• 首先，需要定義基底(Base Block)的厚度和介質(zhì)。
H\V?QD n • VirtualLab中光柵結(jié)構(gòu)在堆棧(stack) 中定義。
k-a1^K3 • 可以在基底的前表面、后表面或者前后表面同時(shí)添加堆棧(stack)。
V,rR*a&p • 例如，圖中在前表面添加了堆棧(stack)。
'zav%}b]L 基于
材料定義光柵的類型（例程： 柱形光柵）
}cI-]|)|2 堆棧編輯器
k~so+k&=b \pkK
>R 在堆棧編輯器(Stack Editor)中，界面和材料可以從中目錄(catalog) 中添加。
2q]ZI • 為了用一種特殊的介質(zhì)定義光柵，需要添加兩個(gè)平面界面，作為介質(zhì)的邊界。
cWyf04-? mi$C%~]5m 兩個(gè)平面之間的介質(zhì)類型可以是均勻介質(zhì)(homogenous)或者調(diào)制介質(zhì)(modulated)。
u
