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摘要 5iz{op<$, P9 ^-6;'Y 高數(shù)值孔徑的物鏡廣泛用于光刻、顯微等方面。 因此，在仿真聚焦時(shí)考慮光的矢量性質(zhì)是至關(guān)重要的。VirtualLab可以支持此類透鏡的光線和場(chǎng)追跡分析。通過(guò)場(chǎng)追跡分析，可以清楚地顯示出由于矢量效應(yīng)引起的非對(duì)稱焦點(diǎn)。相機(jī)探測(cè)器和電磁場(chǎng)探測(cè)器可以方便地研究聚焦區(qū)域的場(chǎng)，也可以深入研究矢量效應(yīng)。 [S HXJ4P*
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 )uj Ex7&c
/']. lp 建模任務(wù) M=F xB;v ` k[-M2 [  5] [Ztx 概述 KIui(n#/ Co (.:z~ •案例系統(tǒng)已預(yù)先設(shè)置了高數(shù)值孔徑物鏡。 ^?0DP >XA •接下來(lái)，我們演示如何按照VirtualLab中建議的工作流程在示例系統(tǒng)上執(zhí)行仿真。 dv8>[# !%^^
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