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摘要 jIJVl \i] zIt-mU 高數(shù)值孔徑物鏡廣泛用于光學(xué)光刻、顯微鏡等。因此，在聚焦模擬中考慮光的矢量性質(zhì)是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持這種鏡頭的光線和光場追跡分析。 通過光場追跡，可以清楚地展示不對稱焦斑，這源于矢量效應(yīng)。 照相機探測器和電磁場探測器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性，并且可以深入了解矢量效應(yīng)。 LO]D
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 D5fJuT-bp *@ o@> 入射平面波 Mm`jk%:%] 波長 2.08 nm /:v+:-lU 光斑直徑： 3mm GY<ErS)2 沿x方向線偏振 < J-bDcp `bu3S }m7 如何進行整個系統(tǒng)的光線追跡分析？ _6"
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