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    [技術(shù)]分析高數(shù)值孔徑物鏡的聚焦 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2024-05-16
    摘要 e 8oAGh"  
    ,O:p`"3`0=  
    高數(shù)值孔徑物鏡廣泛用于光學(xué)光刻、顯微鏡等。因此，在聚焦模擬中考慮光的矢量性質(zhì)是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持這種鏡頭的光線和光場追跡分析。 通過光場追跡，可以清楚地展示不對稱焦斑，這源于矢量效應(yīng)。 照相機探測器和電磁場探測器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性，并且可以深入了解矢量效應(yīng)。 =h +SZXe<r  
    O@W/s!&lFa  
    Z]bG"K3l  
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    建模任務(wù) + ZiYl[_|  
    So e2Gq  
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    3O1Lv2)_  
    入射平面波 ZNk[Jn [.  
    波長 2.08 nm CR2.kuM0~  
    光斑直徑： 3mm ;L#RFdh  
    沿x方向線偏振 nN@ Ch  
    *zDDi(@vtK  
    如何進行整個系統(tǒng)的光線追跡分析？ Mqk|H~l5c  
    如何計算包含矢量效應(yīng)的焦點的強度分布？ * a1q M?  
    0T#z"l<L  
    概覽 2Q@Jp`# ,4  
    •樣品系統(tǒng)預(yù)設(shè)為包含高數(shù)值孔徑物鏡。 -)Vy)hD,  
    •接下來，我們將演示如何按照VirtualLab中推薦的工作流程對樣本系統(tǒng)進行模擬。 D+! S\~u  
     3 Fy C D4#  
       bj 8pqw|;  
    光線追跡模擬 tlg}"lY  
    •首先選擇“光線追跡系統(tǒng)分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作為模擬引擎。 nhC8Tq[m  
    •點擊Go！ %H&WihQ  
    •獲得3D光線追跡結(jié)果。 i O?