摘要 8_a$kJJ2  
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對于如背光、光學連接器和近眼顯示等許多應用來說，光如何高效地耦合到波導結(jié)構(gòu)中是一個重要問題。對于這些應用，眾所周知傾斜光柵可以高效率地耦合單色光。這個例子展示了使用嚴格的傅立葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）對傾斜光柵進行優(yōu)化。對于預定義方向的級次，優(yōu)化得到的光柵的衍射效率超過90％。此外，還研究了斜率偏差和光柵圓角的影響。 7Wwp )D  
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建模任務 j+DE|Q&]I  
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1階的參數(shù)優(yōu)化 r}/yi  
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結(jié)果-容差分析 r0\cc6  
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結(jié)果-容差分析 g.64Id  
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