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    [技術(shù)]錐形相位掩模的Talbot圖像 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2024-06-27
    摘要 lIPy)25~  
     Z |wM  
    在傳統(tǒng)的 Talbot 光刻中，在光敏層中僅使用一個圖像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的兩個圖像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里葉模態(tài)方法 (FMM，也稱為 RCWA) 對具有一層錐體的相位掩模進行建模�？梢詸z測到不同的 Talbot 圖像，在主像平面中會再現(xiàn)柱狀圖案，而在次要像平面中再現(xiàn)孔圖案。 CMn&1  
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    foY=?mbL  
    <8Y;9N|94!  
    建模任務(wù) &iCE/  
    /c/t_xB  
    <8#Q5   
    ]4f;%pE  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ^M36=~j  
    :l<)p;\  
    系統(tǒng)建模塊 pMZKF