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摘要 8d&%H,
@gw8r[ 可用于嚴(yán)格分析光柵效率。在VirtualLab Fusion中，可以設(shè)置光柵系統(tǒng)、執(zhí)行嚴(yán)格的分析、并以不同的格式分析結(jié)果（例如光柵階次匯集、單值等）。與參數(shù)運(yùn)行結(jié)合使用，可以在給定的參數(shù)空間上進(jìn)行掃描，以研究指定結(jié)構(gòu)在不同配置下的性能。 x0lAJaG
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 RrdLh z2N 傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA） NPDMv
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+zEyCx=8H 建模任務(wù) hoLA *v2<
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 [GcW *v R \]C;@J< 單次FMM仿真結(jié)果 xqQK-? k
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 g Mp' S T wzpq1 參數(shù)掃描（1D） D
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 pF(6M3>IN 6h0}ZM 參數(shù)掃描（2D） v:n[H]K| <kWkc|z BY  {d.K)8 \
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