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[技術]薄元近似與FMM/RCWA [復制鏈接]

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2024-07-10

作為衍射光學領域廣泛使用的方法，薄元近似（TEA）在計算薄衍射元件的衍射效率時非常有效。但在另一方面，當衍射光柵的周期小到可以與波長相比較時，這種近似將會變得不準確。我們選擇了兩種常用的透射光柵輪廓（正弦和閃耀），并應用TEA和嚴格的FMM / RCWA進行分析，用來比較兩種方法的結果。