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摘要 zvP>8[
CjlA"_!%E 光柵的衍射效率分析是光柵的典型建模任務(wù)。效率可由瑞利系數(shù)計算得到,對于光柵的每個衍射階次都給出了這兩個量。VirtualLab Fusion可通過全矢量的傅里葉模態(tài)法(FMM,也稱為RCWA)來計算效率和瑞利系數(shù)。借助光柵階次分析器,可以以各種方式顯示不同階次的效率和瑞利系數(shù)。 wg 6 &+F}$8, u1i
?L' &$E.rgtg 光柵詳細說明 .ID9Xd$fky 1
gx(L*y, 8AVG pL 7e`h,e= •為了演示一維光柵的光柵分析器,我們使用帶HR涂層的正弦光柵。 _'DZoOH|VE •可以在堆棧中指定光柵參數(shù),并且在光柵組件的編輯對話框中訪問該參數(shù)。 Hqm1[G) Fo[=Dh*AqU 光柵階次分析器設(shè)置 sD`OHV: [^E{Yz=8, •定義光柵結(jié)構(gòu)后,可以配置光柵階次分析器。 q|
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