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摘要 )N.3Q1g- 7-744wV}Z
(0{Dn5MH g}_2T\$k 干涉測量法是一項用于光學測量的重要技術(shù)。它被廣泛應用于表面輪廓、缺陷、機械和熱變形的高精度測量。作為一個典型示例,在非序列場追跡技術(shù)的幫助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的馬赫-澤德干涉儀。該例證明了光學元件的傾斜和位移對干涉條紋圖的影響。 f"Sp.'@ iOiFkka 建模任務(wù) \BHZRytQF H:.~!
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4C;;V m4~ ;Q{D]4 由于組件傾斜引起的干涉條紋 i}m'#b [jgVN w""D
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|$p\;/ 由于偏移傾斜引起的干涉條紋 EyK!'9~a
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