摘要 uFXu9f+  
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掃描干涉儀是用于執(zhí)行表面高度測量的技術。 通過利用白光光源的低相干性，僅當光程長度差在相干長度內(nèi)時才會出現(xiàn)干涉圖樣。 因此，它可以實現(xiàn)精確的顯微鏡測量。在本案例中，氙氣燈和邁克爾遜干涉儀被構(gòu)建并用于測量表面平滑變化的樣品。 F~C9,`#Wf@  
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建模任務 X (0`"rjg  
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仿真干涉條紋 U`-]U2"  
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走進VirtualLab Fusion :VB{@ED  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 |+|q`SwJ  

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•設置輸入場 Hyj<Fqr!.  
−基本光源模型[教程視頻] =Ll:Ba Q  
•使用導入的數(shù)據(jù)自定義表面輪廓 p^yuz (  
•定義元件的位置和方向 YR\pt8(z?  
− LPD II：位置和方向[教程視頻] ~|>q)4is6a  
•正確設置通道以進行非序列追跡 O:hCUr  
−非序列追跡的通道設置[用例] =;!$Qw4  
•使用參數(shù)運行檢查影響/變化 }5I+VY7a  
−參數(shù)運行文檔的使用[用例] .0gF&>I}  
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VirtualLab Fusion技術 k>ERU]7[  
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