1.摘要
6^p6v 3wK)vW 白光干涉儀是一種非接觸測(cè)量技術(shù),用于如表面輪廓或微小位移的高
精度測(cè)量。利用一個(gè)邁克爾遜干涉儀
系統(tǒng)和一個(gè)氙燈
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一個(gè)白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長(zhǎng)度等
光譜特性,結(jié)果表明只有當(dāng)兩臂的路徑長(zhǎng)度基本相同時(shí)才會(huì)出現(xiàn)干涉圖樣。
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FKaY w q>Y_I<;'g 2. 建模任務(wù)
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(GZm+? L%"&_v#a^ 3. 干涉條紋的變化
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QnN[d6 4. 走進(jìn)VirtualLab Fusion
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j*P@]&e7d J%nJO3, 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
).-FuL4Y L-fAT'!' - 使用“參數(shù)運(yùn)行”檢查影響/變化
- “參數(shù)運(yùn)行文件”的使用[使用案例]
$jm'uDvm REHfk6YE 6. VirtualLab Fusion 技術(shù)
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