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    [技術(shù)]分析高數(shù)值孔徑物鏡的聚焦特性 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2024-07-24
    摘要 xB#E&}Ho  
    Ycwb1e#  
    高數(shù)值孔徑的物鏡廣泛用于光刻、顯微等方面。 因此，在仿真聚焦時(shí)考慮光的矢量性質(zhì)是至關(guān)重要的。VirtualLab可以支持此類透鏡的光線和場(chǎng)追跡分析。通過場(chǎng)追跡分析，可以清楚地顯示出由于矢量效應(yīng)引起的非對(duì)稱焦點(diǎn)。相機(jī)探測(cè)器和電磁場(chǎng)探測(cè)器可以方便地研究聚焦區(qū)域的場(chǎng)，也可以深入研究矢量效應(yīng)。 +FR"Gt$g  
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    建模任務(wù) sh 1fz 6g  
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    概述 zoU.\]#C  
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    •案例系統(tǒng)已預(yù)先設(shè)置了高數(shù)值孔徑物鏡。 2_Qzc&"[ 4  
    •接下來，我們演示如何按照VirtualLab中建議的工作流程在示例系統(tǒng)上執(zhí)行仿真。 |j<'[gB\p  
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    光線追跡仿真 JcP'+@X"  
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    •首先選擇“光線追跡系統(tǒng)分析器”作為模擬引擎。 ~Y(M>u.+!  
    •單擊go！ c/u;v69r  
    •獲得了3D光線追跡結(jié)果。 #LZ`kSlv4  
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