永新光學(xué)“一種可變倍率雙遠(yuǎn)心光刻鏡頭”專利公布據(jù)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局公告,寧波永新光學(xué)股份有限公司申請(qǐng)一項(xiàng)名為“一種可變倍率雙遠(yuǎn)心光刻鏡頭”,公開(kāi)號(hào) CN202410897649.1,申請(qǐng)日期為 2024 年 7 月。 專利摘要顯示,本發(fā)明一種可變倍率雙遠(yuǎn)心光刻鏡頭,從物側(cè)到像側(cè)依次排列有:光焦度為正的前鏡組,光焦度為正的后鏡組,前鏡組從物側(cè)到像側(cè)由依次排列的第一透鏡、第二透鏡、第三透鏡、第四透鏡和第五透鏡組成,后鏡組包括可移動(dòng)透鏡,優(yōu)點(diǎn)在于采用雙遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng),通過(guò)透鏡面型和光焦度的合理搭配,控制鏡頭內(nèi)的光線走勢(shì),減小像差,實(shí)現(xiàn)高分辨率(>0.35@75lp/mm)、低畸變(<0.01%)、寬焦深(>480um)、小遠(yuǎn)心度(≤0.07°)的效果,滿足使用需求,通過(guò)可移動(dòng)透鏡的前后移動(dòng),實(shí)現(xiàn)放大倍率的微調(diào)(2.99~3.01),提高投影定位的一致性和準(zhǔn)確性。 |