各位老師,你們好,我使用HOLOOR公司的DOE,
光束通過DOE后進入振鏡、場鏡加工,在加工平面上我們發(fā)現(xiàn)了一些現(xiàn)象:即連續(xù)從左到右振鏡掃描10行,這10行
光斑形貌記為A;把振鏡歸0,又在相同的位置,從右到左振鏡掃描10行,這10行光斑形貌記為B,A和B是不一樣的,但是A和B中分別每一行,光斑形貌是差不多的;具體差別如下圖,
60~{sk~E 也就是說因為振鏡運動方向的不同,焦點處光斑形貌也會發(fā)生變化,具體差別是有一個方向的光斑會有暗點,這是什么原因呢?請求指教,謝謝。
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