摘要 nDLiER;U  
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非傍軸衍射光束分束器的直接設(shè)計(jì)仍然是一個(gè)挑戰(zhàn)。由于衍射角度相當(dāng)大，元件的特征尺寸與光的波長相近。因此，通常使用的傍軸建模方法變得不準(zhǔn)確，需要嚴(yán)格的技術(shù)。因此，在這個(gè)例子中，迭代傅里葉變換算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光學(xué)元件（DOE）的初步設(shè)計(jì)，并且之后使用傅里葉模式方法（FMM）也稱為嚴(yán)格耦合波分析（RCWA）進(jìn)行嚴(yán)格的性能評(píng)估，包括在高度變化的情況下對(duì)優(yōu)點(diǎn)函數(shù)變化的研究。 p^p1{%=  
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• 使用傍軸近似（TEA）進(jìn)行衍射1:7×7光束分束器的初步設(shè)計(jì)，用于結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)部分。 +K2HMf'  
• 使用嚴(yán)格分析（FMM/RCWA）對(duì)性能進(jìn)行分析和進(jìn)一步優(yōu)化，以提高均勻性并評(píng)估零階的影響。 O -p^S  
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