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摘 要 `&i\q=u+ DVjwY_nG7 斐索干涉儀是工業(yè)中常見的光學計量設備,它們通常用于光學表面質量的高精度測試。 借助VirtualLab Fusion中的非順序追跡,我們構建了一個菲索干涉儀,并利用它測試了不同的光學表面,例如圓柱形和球形。 可以看出,產生的干涉條紋對表面輪廓具有敏感性。 IC+!XZqS o<Qt<* 建模任務 Zw_'u=r
> S#nW )=
FTWjIa/[ Ch73=V 傾斜平面下的觀測條紋 mq+<2 S \{;3'<
@k)[p+)E .q|k459oi 圓柱面下的觀測條紋 mb*|$ysPx sPvjJ
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