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摘要 ` Sz}`+E Q~Wqy~tS 復(fù)雜光學(xué)光柵結(jié)構(gòu)被廣泛用于多種應(yīng)用，如光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)等。利用傅里葉模態(tài)法(FMM，或稱RCWA) VirtualLab Fusion 提供了一種用于任意光柵結(jié)構(gòu)嚴(yán)格分析的簡(jiǎn)單方法。利用圖形用戶界面，用戶可以設(shè)置堆棧的幾何形狀，從而產(chǎn)生復(fù)雜的光柵結(jié)構(gòu)。本案例主要集中于具有二維周期光柵結(jié)構(gòu)的配置。 #ABZ& Z
 ww1[rCh\+ 1. 本案例主要說(shuō)明：
P*j|.63 如何在光柵工具箱中配置二維光柵結(jié)構(gòu)，通過(guò)： wi bNQ`4k - 基于介質(zhì)的定義類型 Q =$2c[Uk - 基于表面的定義類型 ;2QP7PrSY 計(jì)算前如何改變高級(jí)選型并檢查定義的結(jié)構(gòu)。 w}L[u
r;I_ 注意：在VirtualLab中，具有二維周期性的光柵結(jié)構(gòu)稱作3D光柵。因此，層狀光柵(一維光柵)被稱為2D光柵。 +N U G
@r1_U,0e 2. 光柵工具箱初始化 sYA1\YIii 初始化 ~P-mC@C - 開(kāi)始→ 'I;zJ`Trd 光柵→ pQB."[n 一般光柵光路圖(3D光柵) -Q Nh
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