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摘要 zS\E/.X2 SF}<{x_ 白光干涉測(cè)量法是一種非接觸式技術(shù),用于精確測(cè)量,例如表面輪廓和微小位移。使用邁克爾遜干涉儀設(shè)置和氙燈光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉測(cè)量?紤]到光源的光譜特性,即有限的相干長(zhǎng)度,結(jié)果顯示僅當(dāng)兩個(gè)臂的路徑長(zhǎng)度幾乎相同時(shí)才出現(xiàn)干涉圖案。 _
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