光柵是
光學工程師使用的最基本的工具。為了設計和分析這類組件,快速物理光學建模和設計軟件VirtualLab Fusion為用戶提供了許多有用的工具。其中包括
參數(shù)優(yōu)化,以輕松優(yōu)化
系統(tǒng),以及參數(shù)運行,它允許您執(zhí)行參數(shù)掃描,以研究這些參數(shù)對設置的總體效果的影響。此外,還可以用于詳細研究具體制造過程中的偏差引入的影響。不同的求解器也可以供您使用來
模擬場與光柵的相互作用,具有不同的假設和相應的近似水平。這些方法的范圍從嚴格的傅里葉模態(tài)法(FMM)到適用于具有淺浮雕大型
結(jié)構(gòu)的薄元近似法(TEA)。
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T 薄元素近似法(TEA)對比傅里葉模態(tài)法(FMM)進行光柵建模 1aZGt2;
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