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摘要 1$^=M[v OM4q/!)A] 對(duì)于背光系統(tǒng)、光內(nèi)連器和近眼顯示器等許多應(yīng)用來說,將光高效地耦合到引導(dǎo)結(jié)構(gòu)中是一個(gè)重要的問題。對(duì)于這種應(yīng)用,傾斜光柵以能夠高效地耦合單色光而聞名。在本例中,提出了利用嚴(yán)格傅里葉模態(tài)方法(FMM,也稱為RCWA)對(duì)傾斜光柵的優(yōu)化方法。優(yōu)化后的光柵的衍射效率超過90%。此外,還研究了其對(duì)光柵的傾角偏差和圓角邊緣的影響。 ="Edt+a)t :87HXz6]jS A[mm_+D>
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