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概括案例 Px<*n '~} iHB1/ 1.系統(tǒng)細節(jié) <!r0[bKz@ 光源 @a{1 vT9b - 綠色激光二極管 #nS 元件 X( H-U
q*( - 基于單掃描微鏡的激光掃描系統(tǒng)，例如MEMS（微機電系統(tǒng)） ^Q'^9M2) 探測器 /?,c4K,ap - 光線可視化檢查（3D顯示） XvIrO]F- - 場分布和相位計算 _Bh ^ <D- - 光束參數(shù)（M2值，發(fā)散角） gADEjr*H 建模/設(shè)計 },G>+ s8h - 光線追跡：首先概覽系統(tǒng)性能 4x'N#m{p - 場追跡： 9.
7XRxR^ √ 光束傳播包含表面像差 V!Q1o! J √ 分析生成光束的形狀和質(zhì)量 8=#J:LeXj d fmxz7V 2.系統(tǒng)圖片 eaI!}#>R + 8 =%% C:
 zu~E } ,%FBELqOW 3.模擬和設(shè)計結(jié)果 oq<n5 鏡像差（由澤尼克多項式表示）： Y^Olcz &!lGx7zf 
% 0z&k!P Z,~ EH 4.總結(jié) -R[ *S "
BWbM$@'x 基于單掃描微鏡的激光掃描系統(tǒng)（例如MEMS）中的鏡像差進行建模和仿真。 `6 .rTs $< 1) 模擬 $1h
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